В России разработали многолучевой литограф, который в 3000 раз быстрее обычного

Первый опытный образец может появиться к 2030 годуРоссийские ученые завершили этап научно-исследовательских работ по созданию отечественного многолучевого электронного литографа — установки, которая в перспективе сможет использоваться для производства микросхем с технологическими нормами вплоть до нескольких нанометров. Об этом сообщают «Известия».Изображение сгенерировано GeminiНа сегодняшний день специалисты завершили исследования и подготовили проект будущей установки.


Следующим этапом станут опытно-конструкторские работы, а первый опытный образец, по оценкам разработчиков, может появиться примерно через три года.Главное отличие новой системы от традиционных электронных литографов заключается в принципе работы. Если


существующие установки используют один электронный луч, то российская разработка основана на технологии мультикатода, формирующей сразу множество независимых электронных лучей. Благодаря этому экспонирование кремниевых пластин должно происходить значительно быстрее.По расчетам разработчиков, обычному


однолучевому электронному литографу требуется от полутора до двух недель на обработку одной пластины. Новый многолучевой комплекс сможет выполнять ту же задачу всего за 5–7 минут, что потенциально увеличит производительность примерно в 3000 раз.Главный разработчик проекта


Евгений Гиваргизов рассказал, что инженерам удалось создать массивы источников электронных пучков с радиусом закругления вершины всего 1,5–2 нанометра. По его словам, это соответствует одному из лучших мировых результатов.Еще одним преимуществом новой технологии разработчики называют более простую конструкцию. Зарубежные многолучевые литографы обычно используют сложную систему расщепления


одного электронного луча с большим количеством зеркал и оптических элементов. Российская установка формирует множество независимых источников электронов сразу на общей подложке, что, как ожидается, позволит снизить стоимость оборудования, уменьшить энергопотребление


и упростить требования к инженерной инфраструктуре.По словам создателей, новый литограф сможет применяться для производства микросхем с различными технологическими нормами — от 350 нм до нескольких нанометров. При этом они отмечают, что предельное разрешение современных электронных


литографов во многом зависит не только от самой установки, но и от характеристик используемых фоторезистов.


В России разработали многолучевой литограф, который в 3000 раз быстрее обычного

Сообщает www.ixbt.com

 

Опубликовано: 14:36, 05.08.2026

 

Новость из рубрики: Политика

 

Поделиться новостью: Поделиться новостью в Facebook Поделиться новостью в Twittere Поделиться новостью в VK Поделиться новостью в Pinterest Поделиться новостью в Reddit

 

Топ Новости Недели Топ Новости Недели

 

В России разработали ИИ-сервис Molot, который ищет вредоносный код по поведению 04:36, 04 Июн В России разработали ИИ-сервис Molot, который ищет вредоносный код по поведению Компания Positive Technologies разработала ИИ-сервис Molot, который выявляет вредоносный код в программах, анализируя их поведение целиком. В отличие...

Российские ученые создали технологию производства микросхем с нанометровой топологией. Она в 3000 раз быстрее аналога 12:36, 06 Авг Российские ученые создали технологию производства микросхем с нанометровой топологией. Она в 3000 раз быстрее аналога Российские ученые завершили научно-исследовательские работы по созданию отечественного многолучевого электронного литографа для производства передовы...

Российские ученые разработали датчик для навигации, который может работать без внешнего питания 00:36, 14 Мар Российские ученые разработали датчик для навигации, который может работать без внешнего питания Учёные Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета «ЛЭТИ» создали прототип энергонезависимого высокопрочного датчика для н...

Аэрогриль, который готовит быстрее духовки. Обзор COSORI TurboBlaze 01:36, 25 Мар Аэрогриль, который готовит быстрее духовки. Обзор COSORI TurboBlaze Честно говоря, к аэрогрилям я всегда относился с лёгким скепсисом. Казалось, что это модная духовка для ленивых, которая занимает место на столешнице...

Американские учёные создали нейроморфный чип, который учится в тысячу раз быстрее, чем потребляет энергии 02:36, 14 Июн Американские учёные создали нейроморфный чип, который учится в тысячу раз быстрее, чем потребляет энергии Инженеры из Калифорнийского университета в Сан-Диего 11 июня 2026 года представили нейроморфный процессор NeuroSwift-2, вдохновлённый архитектурой ко...

Ученые впервые увидели объект в свете, который движется быстрее самого света 18:36, 05 Апр Ученые впервые увидели объект в свете, который движется быстрее самого света Международная группа физиков впервые экспериментально зафиксировала, что оптические вихри, которые иногда называют «дырами» в свете, могут кратковрем...

Космический миксер на орбите: найден астероид, который вращается быстрее всех разумных пределов 12:36, 23 Мар Космический миксер на орбите: найден астероид, который вращается быстрее всех разумных пределов Космос умеет унижать учебники физики. Обсерватория имени Веры К. Рубин в Чили поймала объект, который по всем правилам должен был разлететься в пыль....

Учёные создали новый полимер, который позволит заряжать батареи быстрее и без риска возгорания 12:36, 25 Мар Учёные создали новый полимер, который позволит заряжать батареи быстрее и без риска возгорания Схематичное устройство литий-ионной батареи с жидким электролитом, который представляет пожарную опасность Литий-ионные батареи — основа почти всей с...

13:36, 09 Май Windows 11 получит режим Low Latency Profile, который позволит намного быстрее запускать приложения и меню ОС будет фактически кратковременно повышать частоту CPU до максимумаОдним из новшеств Windows 11, которые должны сделать систему лучше, будет новый р...

17:36, 11 Мар Intel показала процессор, который может быть почти в 6000 раз быстрее 24-ядерного Xeon. Это чип Heracles, использующий полностью гомоморфное шифрование Компания Intel на Международной конференции по твердотельным схемам (ISSCC) представила очень необычный чип, который не похож на привычные продукты п...

19:36, 16 Дек В России разработали разведывательную «Молнию» Разведывательную модификацию дрона-камикадзе «Молния-2» разработали в России. На изображение нового аппарата обратил внимание Telegram -канал «Осведо...

20:36, 05 Авг Российский литограф обещает сократить выпуск чипов с недель до минут Российская команда под руководством Евгения Гиваргизова при поддержке Национальной технологической инициативы подготовила проект электронного литогра...

02:36, 24 Мар В России разработали плату 1T Rex Board для робототехники В пресс-службе Саратовского государственного университета генетики, биотехнологии и инженерии имени Вавилова сообщили, что ученые вуза совместно с ин...

00:36, 17 Июл В России разработали ИИ для анализа корзинок подсолнечника Заместитель директора по биологии и генетике НИЦ «Курчатовский институт» Максим Патрушев в беседе с ТАСС рассказал, что ученые создали систему компью...

16:36, 08 Фев В России разработали бронированный УАЗ с композитным кузовом Компания «Евраком» представила бронеавтомобиль «Евраком 284031» на базе полноприводного пикапа УАЗ 2360 «Профи». Новинка совмещает легендарную проход...

17:36, 23 Июн В России разработали углепластиковые валы для кораблей В России начали производство углепластиковых судовых валов, которые призваны заменить немецкие аналоги Centa и Vulcan. Изделие ВМК-60-1 в три раза ле...

03:36, 20 Мар В России разработали оптические нейросети для БПЛА В пресс-службе Самарского университета имени Королева сообщили, что ученые вуза разработали новый подход к созданию оптических нейросетей. Такие сист...

06:36, 02 Июл В России разработали экологичные ПАВ для повышения нефтеотдачи Ученые Сибирского федерального университета создали наномодифицированные поверхностно-активные вещества (ПАВ) для повышения нефтеотдачи сложных место...

09:36, 07 Май В России разработали ИИ для генерации музыки и аудио Специалисты Новосибирского государственного технического университета разработали первое в России программное обеспечение для генерации аудиоконтента...

23:36, 16 Июл ИИ-систему для контроля посещаемости в вузах разработали в России Компания NtechLab разработала систему видеоаналитики на основе искусственного интеллекта (ИИ) для университетов. Решение позволяет анализировать посе...

14:36, 19 Июл В России разработали ИИ для оценки перегрузки человека по голосу В пресс-службе Национального исследовательского Нижегородского государственного университета им. Н. И. Лобачевского (ННГУ) сообщили, что ученые лабор...

11:36, 12 Июн В России разработали ИИ для оценки риска при инфарктных состояниях В Сыктывкарском госуниверситете имени Питирима Сорокина сообщили, что ученые вуза совместно с коллегами разработали систему на основе искусственного ...

08:36, 28 Фев В России разработали сталь, которая не плавится при 600 градусах Новый вид стали способен выдерживать температуру до 600 градусов Цельсия. Источник изображения: interestingengineering.com Когда речь заходит о ядерн...

02:36, 19 Мар В России разработали систему поиска шумных автомобилей Ученые Пермского политехнического университета разработали программу, которая способна определить в потоке конкретный автомобиль, превышающий нормы ш...

00:36, 03 Июл В России разработали ПЦР-тест для оценки агрессивности рака В Минздраве РФ сообщили, что ученые Уральского государственного медицинского университета создали ПЦР-тест для определения степени агрессивности рака...

16:36, 25 Дек В России разработали ИИ для выявления аварийных домов без длительных экспертиз На фоне старения жилого фонда и дефицита квалифицированных строителей в России возрастает риск внезапных обрушений зданий. Традиционные обследования ...

21:36, 05 Авг В России разработали эндопротезы с решетчатой структурой для роста кости В пресс-службе Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого (СПбПУ) сообщили, что специалисты Передовой инженерной школы «Цифров...

23:36, 16 Июл В России разработали винтовую платформу для движения по болотам и льду В Минобрнауки РФ сообщили, что ученые Нижегородского государственного технического университета им. Р. Е. Алексеева (НГТУ) представили безмоторную пл...

06:36, 07 Авг В России разработали новый двигатель: какие машины его получат? На выставке «Иннопром» в Екатеринбурге НАМИ показал двигатель под индексом 414320. Из конфигурации – а это рядная «четверка» объемом 2,2 л – нетрудно...

16:36, 31 Июл Кремний, подвинься: в России разработали технологию транзисторов толщиной 0,65 нм Вместо кремния — дисульфид молибденаУченые Московского физико-технического института (МФТИ) разработали первую в России технологию изготовления транз...

12:36, 09 Июл «Мы хотим дать ему руки»: в России разработали манипулятор для беспилотников Чтобы он не сбрасывал, а аккуратно ставил посылкиСпециалисты Института информационных технологий РТУ МИРЭА разработали манипулятор для беспилотников....

04:36, 19 Дек В России разработали доступный способ очистки промышленных выбросов Ученые Пермского Политеха доказали, что готовый биопрепарат на основе микроводорослей способен снижать концентрацию углекислого газа в дымовых газах ...

07:36, 08 Май Сеть «Дарвин» для защиты от морских дронов разработали в России Защитно-улавливающую сеть «Дарвин» начнут применять в России против безэкипажных катеров (БЭК). Изделие обволакивает корпус морского беспилотника, на...

17:36, 06 Мар Китай расписался в неспособности сделать передовой литограф как у ASML — отрасль признана слабой и раздробленной Лидеры крупнейших технологических компаний Китая (SMIC, YMTC, Naura, Empyrean) опубликовали программную статью в журнале Science and Technology Revie...

00:36, 19 Дек Импульс плей-офф: быстро, ещё быстрее, как можно быстрее Кульминация сезона в суперлиге русского хоккея Сегодня, 14 марта, кемеровский «Кузбасс» во втором полуфинальном матче плей-офф чемпионата России прим...

05:36, 19 Апр В России разработали полностью роботизированный склад для доставки почты дронами Почта будущего: учёные ЮУрГУ создали роботизированный склад, который сам загружает посылки в дроны. Специалисты Южно-Уральского государственного унив...

13:36, 03 Июл Кубитный курьер: в России разработали архитектуру масштабируемых квантовых процессоров Кубиты-передатчики — специальные подвижные атомы — доставляют квантовую информацию между любыми двумя вычислительными кубитамиУчёные НИТУ МИСИС, МФТИ...

09:36, 06 Апр В России разработали камеру для быстрой оценки свежести рыбы с точностью 90% Учёные Череповецкого госуниверситета вместе с марокканскими коллегами разработали систему, которая оценивает свежесть рыбы за секунды с точностью 90%...

02:36, 25 Фев В России разработали уникальный источник питания, он работает на поваренной соли Ученые Новгородского государственного университета имени Ярослава Мудрого представили инновационный источник энергии для аварийного освещения и систе...

06:36, 08 Мар В России разработали световой метод ранней диагностики болезни Паркинсона Ученые из Национального исследовательского ядерного университета МИФИ совместно со специалистами Московского государственного технического университе...

08:36, 20 Мар Власти России разработали меры против доступа мировых контейнерных операторов На российском рынке планируется ввести новые условия для возвращения иностранных контейнерных операторов, включая жесткие требования к регистрации и ...

18:36, 22 Дек Биосовместимость без золота: в России разработали новую технологию пайки керамики и металла В Национальном исследовательском ядерном университете МИФИ создана новая технология пайки керамики и металла, которая может найти применение в произв...

14:36, 17 Янв Температура в России выросла быстрее общемировой за 50 лет Средняя температура в России за последние 50 лет изменилась сильнее, чем в остальном мире примерно на один градус, заявил климатолог, эксперт по вопр...

21:36, 15 Июн Первая в мире: в России разработали платформу для непрерывного бурения наклонных нефтяных скважин Обычно при таких работах время простоя достигает 15% В России разработали устройство, которое можно применять для непрерывного бурения наклонных нефт...

00:36, 29 Янв Михаил Кержаков: «Улица быстрее учит, объясняют, что можно и нельзя. Если с первого раза не понял – объяснят физически. Не знаю, хорошо это или нет, но доходит быстрее» Вратарь « Зенита » Михаил Кержаков порассуждал о роли улицы в воспитании детей. – Насколько важна, на твой взгляд, улица в формировании характера у р...

20:36, 28 Янв Михаил Кержаков об улице: «Она быстрее учит, объясняют, что можно и нельзя. Если с первого раза не понял – объяснят физически. Не знаю, хорошо это или нет, но доходит быстрее» Вратарь «Зенита» Михаил Кержаков порассуждал о роли улицы в воспитании детей. – Насколько важна, на твой взгляд, улица в формировании характера у реб...

05:36, 19 Дек Китай в обход санкций собрал сверхсекретный крутейший литограф. Помог главный на планете поставщик литографов, но против своей воли Китайские инженеры собрали прототип литографа для работы в экстремальном ультрафиолете – он нужен для выпуска микросхем по самым передовым техпроцесс...

15:36, 11 Мар Этот материал позволяет электромобилям в России заряжаться намного быстрее В столице по программе «Энергия Москвы» создана и продолжает расти самая развитая в России сеть энергозарядных станций (ЭЗС), по данным Московский тр...

14:36, 20 Дек Средние зарплаты в России быстрее всего растут на Камчатке и Чукотке Самый высокий рост средних зарплат в России — почти на 40 тыс. руб. за последний год — зафиксирован на Камчатке. Об этом сообщило «РИА Новости» со сс...

10:36, 17 Дек М.Видео назвала бренды смартфонов, которые растут в России быстрее остальных М.Видео проанализировала рынок смартфонов в России за 9 месяцев 2025 года и назвала бренды с самой высокой динамикой роста. Лидером стала Samsung: ее...

01:36, 18 Мар Как сделать 3Д-фото из обычного на iPhone В iOS 26 у фотографий на iPhone появилась новая фишка, которая на бумаге звучит как что-то из Vision Pro, а на деле работает прямо на обычном экране....

18:36, 19 Янв Чем строительный пылесос отличается от обычного Содержание:Особенности бытовых пылесосовОсобенности строительного пылесосаКоротко: основные отличияСравнительная таблица основных технических характе...

07:36, 25 Дек В Бурятии построят «суперколонию» на 3000 заключенных Планы строительства в столице Бурятии Улан-Удэ «суперколонии» на 3000 заключенных не отменены, «все будет воплощено», заявили в УФСИН по республике. ...

01:36, 11 Янв Штат Вашингтон лидирует с почти 3000 водопадами Вашингтон — это не просто штат с красивыми пейзажами, но и одно из лучших мест для поклонников водопадов. Здесь можно найти более 2900 водопадов, и э...

10:36, 15 Апр Telegram X для iPhone: что это, отличия от обычного Телеграм и как скачать Telegram X — это экспериментальный клиент Telegram, который когда-то считался более быстрой и современной альтернативой официальному приложению. Расс...

11:36, 13 Апр ВК Мессенджер: как установить и чем отличается от обычного приложения ВКонтакте Если вы хоть раз открывали основное приложение ВКонтакте и терялись среди клипов, сториз, музыки и бесконечной ленты — вы не одиноки. Разработчики с ...

18:36, 03 Июл Складной iPhone Ultra будет стоить $2500-3000 Apple начала подготовку к массовому выпуску своего первого устройства с гибким дисплеем. Ожидается, что новинка получит название iPhone Ultra и стане...

21:36, 20 Дек ВАЗ-2107 за 3000 фунтов: В Великобритании продают уникальную «Семёрку» За такие деньги в России можно купить подержанную иномарку. На страницах одного из автомобильных порталов появилось сообщение о том, что в Великобрит...

04:36, 23 Окт Дикий предок сливы. Уникальне достоинства обычного тёрна О тёрне упоминают нечасто. Однако опытные садоводы нередко переносят на свои участки дикие кусты, встречающиеся на опушках и в низинах за пределами г...

19:36, 18 Дек Почти 3000 тонны мусора вывезли рабочие с кладбищ Брянска за год Почти 3000 тонны мусора вывезли рабочие с кладбищ Брянска за год. Об этом сообщили в пресс-службе городской администрации. 16 кладбищ работает на тер...

18:36, 23 Дек «Лучший подарок нелегалам»: власти США пообещали $3000 за «самодепортацию» из страны Власти США увеличили выплату нелегалам за «самодепортацию» из страны до $3000. Мигранты смогут получить такую сумму в дополнение к бесплатному переле...

08:36, 23 Мар TCL представила телевизор T7M Ultra с Mini LED нового поколения и яркостью до 3000 нит Компания TCL выпустила в Китае новый телевизор T7M Ultra SQD-Mini LED, который позиционируется как первая модель с технологией SQD-Mini LED, ориентир...

21:36, 04 Авг Быстрые радиовсплески показали, где скрывается половина обычного вещества Вселенной Анализ 2873 быстрых радиовсплесков впервые позволил составить карту межгалактического газа и показал, что значительная часть барионного вещества нахо...

06:36, 22 Май Новый бюджетник от Nothing можно не ждать. CMF Phone 3 Pro выйдет позже обычного Компания Nothing, по данным инсайдеров, изменила график выпуска следующего устройства линейки CMF by Nothing. Смартфон CMF Phone 3 Pro теперь может в...

13:36, 20 Дек Этот Лэнд Крузер стоит втрое дороже обычного: что в нем особенного? Австралийское тюнинг-ателье PVS Automotive вместе с Urnieta представило доработанный Toyota Land Cruiser 70, цена которого составляет 220 000 австрал...

16:36, 04 Апр В Пензенской области сезон пыльцевой аллергии начался раньше обычного архив редакцииВ этом году в Пензенской области сезон пыльцевой аллергии начался раньше обычного. «Поллиноз - широко распространенное заболевание, свя...

12:36, 16 Апр Копали дорогу — вскрыли город мёртвых: земля хранила это как проклятие 3000 лет Дорожные рабочие в британском Саффолке планировали закатать в асфальт лишние метры обочины, а в итоге "распаковали" временную капсулу. Под ковшом экс...

16:36, 03 Апр Метеоритное железо в древнем оружии: что нашли археологи в Китае спустя 3000 лет Самый древний артефакт из метеоритного железа бронзового века найден на юго-западе Китая. На юго-западе Китая археологи обнаружили 3000-летнее оружие...

02:36, 01 Янв Внезапно: вышли Amazfit Active Max с AMOLED-экраном на 3000 нит и автономностью до 25 дней Популярный производитель носимых устройств Amazfit представил новые смарт-часы Active Max — модель с акцентом на автономность и яркий дисплей.Часы ос...

10:36, 27 Мар Когда появились домашние собаки: учёные выяснили, что на 3000 лет раньше, чем мы думали Одна из собак, останки которой были найдены на стоянке Скейтхольм в Швеции, похоронена рядом с человеком. Источник изображения: popsci.com Генетики в...

19:36, 26 Янв «Типичных симптомов нет»: почему вирус Нипах сложно отличить от обычного ОРВИ Симптомы заражения вирусом Нипах не имеют специфических признаков и во многом повторяют клиническую картину обычной респираторной инфекции. Об этом в...

01:36, 20 Дек Гуляш без муки: как сделать подливу идеально густой с помощ